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나노압인시험기

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보유기관명	나노종합기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C702
표준분류명
시설장비 설명	뾰족한 다이아몬드 압자를 수 ~ 수십 mN 크기의 하중으로 표면을 압입하여 나노미터 스케일로 변형시켜서 측정된 하중과 변위곡선으로 부터 경도와 탄성계수 등의 기계적 특성을 평가하는 장치로서 Vickers 경도기와 달리 압입 흔적이 작아 그 크기를 쉽게 측정할 수 없는 박막 시료나 나노 구조물의 기계적 특성을 측정하는데 유용하다. - 최대 하중 : 500mN(DCM : 10 mN) - 하중 분해능 : 50nN(DCM : 1 nN) - 최대압입깊이 : 500㎛(DCM : 15㎛) - 변위 분해능 : 10pm(DCM : 0.2pm) - 재료의 기계적 물성 및 신뢰성 평가 - 박막 및 나노 구조물의 탄성계수 및 경도 측정 - 이미지 기능을 이용한 압흔 관찰 - 강성연속측정법 이용한 깊이별 물성 평가 - 크리프 및 피로 테스트 - 나노 비전을 이용하여 특정 영역의 물성 측정
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/20140514104816869.jpg
장비위치주소	대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 6층 표면분석실
NFEC 등록번호	NFEC-2007-11-047857
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013626
첨부파일

기업조회