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장비 및 시설 기본정보
고진공 스퍼터 코팅기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Quorum Technologies |
| 모델명 | Q150TS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-08-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 챔버안에 고진공을 걸어 코팅재료 표면에 전압을 가하여 음극의 target 에서 양극의sample로 target의 ion 입자를 확산 증착시키며 특히 target에 자장을 형성시켜 입자의 확산성 및 균일성을 매우 좋게 할 수 있음. TMP를 사용하여 활용할 수 있는 current 및 진공 level의 가변폭이 넓어 다양한 target의 장착이 가능함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110928140155.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L5) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-09-148942 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0030071 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |