레이져 측정장비
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Renishaw |
모델명 | ML10 |
장비사양 | |
취득일자 | 2006-03-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 두산인프라코어 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | F201 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | ML10 - Accuracy : ±0.7ppm (0~40oC) - Resolution : 0.001um - 조정 가능한 삼각대의 적용 ==> 쉽고 빠른 alignment - 리니어 모터 등의 motion 패턴 측정 ==> dynamic mode - 100~240VAC Free voltage - 측정 OPTION - Linear : 위치결정정도 반복위치결정정도 백래쉬 등 - Angular : yawing error pitching error - Straightness : 좌우진직도 상하진직도 - Squreness : 두축의 직각도 - Flatness : 정반 등의 평면도 - Rotary : 인덱스 테이블 등의 각도위치정도 - Dynamic : 위의 측정에 대한 시간에 대한 특성 측정 위치제어특성 속도 RIPPLE FFT분석공작기계의 정도검사 3차원 측정기의 정도 검사 XY-STAGE의 정도 검사 각종 반도체장비 정도 검사 기타 위치정도 검사 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110217135739.JPG |
장비위치주소 | 경남 창원시 남산동 601-3 두산인프라코어 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2011-02-142563 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0025815 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |