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장비 및 시설 기본정보
진동둔감간섭계
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 4d Technology |
| 모델명 | PhaseCam 5030 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-12-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A407 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 진동에 둔감한 간섭계로 클린룸에 진동 방지 테이블에서만 사용하는 것이 아니라 일반 산업현장에서 바로 사용할 수 있는 것이 특징임. 해상도는 1000 x 1000이고 측정정밀도는 0.6 nm rms |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110124113446.JPG |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 도룡동 452 한국표준과학연구원 계측기기동(202) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-135597 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0023253 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |