대기압플라즈마시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 펨토사이언스(Femto Science) |
모델명 | WIDE FLUX |
장비사양 | |
취득일자 | 2011-12-23 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국기계연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C510 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 적절한 개스 분위에서 플라즈마 조사 시 표면의 소수성 특성을 특성을 부여하는 것이 가능하며 건식 방법이므로 산을 사용하는 습식 방식에 비해 안전하고 편의성을 높일 수 있다. 또한 플라즈마 또는 UV 조사 방법으로 레진 또는 기판 특성에 따라 취사선택할 수 있는 기능이 있다. 또한 스캔에어블로링 기능을 포함하고 있어 먼지 등의 이물질이 표면처리 과정에 앞서 물리적으로 제거할 수 있는 특징이 있다. - 본 대기압에서 플라즈마 조사를 통해 대면적 기판을 크리링하고 개스유입하여 친수성으로 처리 가능한 특징. - 대기압에서 건식방식으로 이루어지므로 사용에 편의성을 극대화되며 한가지 장비에서 몇가지 기능의 표면공정이 가능한 특징. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201202/20120207143802.JPG |
장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2012-02-153916 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIMM-00014 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |