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장비 및 시설 기본정보
스퍼터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)프라즈마 테크 |
| 모델명 | |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1997-07-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 가천대학교 글로벌캠퍼스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 고진공상태에서 RF Magnetron에 의한 금속 박막 증착구성및성능 1. Vacuum chamber 2. vacuum pumping unit 3. magnetron sputter source 4. vacuum gauge unit활용분야 박막증착 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702051058.jpg |
| 장비위치주소 | 신소재 응용 연구센터 (KRRC) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-04-032693 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0013717 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |