| 시설장비 설명 |
1. 반도체 디바이스의 전기적인 특성을 파악하기 위해서 정밀성과 재현성을 확보. 정전류를 6단계로 나눠서 인가(1nA ~20mA) 함으로써 에러허용치를 최소화. 4 point probing 방식의 반 데르 포 법칙(Van der pauw technique) 을 적용하여 측정의 정밀성을 보장. 2. 컴팩트한 데스크탑 디자인 사용이 편리성을 제공. 작고 컴팩트한 자속밀도 인가 시스템과 온도가변시스템(80K-573K) 적용하여 사용의 편리성과 측정의 다양성을 제공. 편리한 샘플 컨택 방법을 통해서 다양한 사이즈와 두께의 샘플시료를 측정. (5mm x 20mm 사이즈 두께: 2.5mm ) 특히 고온의 경우는 소형 챔버 시스템을 장착하여 고온의 조건에서 분위기가스의 공급이 가능한 시스템을 제공. 3. 전류 vs 전압 그래프 전류 VS 저항 그래프 뿐만 아니라 샘플의 캐리어의 농도 이동도 저항률 도전율 홀 계수 등을 온도에 따라 측정된 특성을 그래프로 제공. 4. 다양한 측정 결과 파라미터( characteristic parameter) 제공. 측정이 끝나면 한번에 다양한 측정 결과값이 자동으로 계산. 캐리어의 농도(Bulk & Sheet Carrier Concentration) 이동도(Mobility) 저항률 (Resistivity) 도전률(Conductivity) 홀 계수(Hall Coefficient) 자기저항 (Magnetoresistance) 종횡비 등. |
