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초고분해능 주사전자현미경

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보유기관명	한국과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	- 나노표면의 사실적인 표면 이미지 촬영 가능(<0.9nm at 1kV) - 전자빔에 민간한 샘플 분석 가능(폴리머 바이오 물질 등) - 코팅없이 비전도성 물질 분석 가능(생체재료 절연물질다공성샘플 등) * 분해능(최적의 작동거리) : - 0.8 nm at 15 kV - 0.9 nm at 1 kV - 1.5 nm at 200 V * 측정 가능 영역 : ≤ 100 nm ~ 1.5 mm * 가속전압 : 50 V ~o 30 kV * 빔 전류 : 1 pA ~ 22 nA * 전자빔 소스 : Schottky thermal field emitter with UC(< 0.2 eV energy spread) * 검출기 : SE detector (ETD) in-lens detector (TLD)Retractable low kV high contrast BSE detector IR camera EDS etc * 5축 피에조 세라믹 스테이지(고정밀 및 안정성 확보) : - XY: 100 mm Z: ≥ 20 mm T: - 10 ° to + 60 ° R: 360 ° continuous
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201208/.thumb/20120820201431.JPG
장비위치주소	대전 유성구 구성동 한국과학기술원 373-1 한국과학기술원 중앙분석센터 1층 106호
NFEC 등록번호	NFEC-2011-09-148869
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029935
첨부파일

기업조회