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스핀 디벨로퍼

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보유기관명	포항공과대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C502
표준분류명
시설장비 설명	특징 Spin Chuck 위에 Vacuum으로 Glass를 잡고 회전시키면서 현상액을 분사 감광액이 반응하연서 PR Patterning 공정을 수행 이때 Chuck의 회전 및 현상액의 분사는 고정밀 사양으로 Control 되어져야 함구성및성능 Size : 200mm x 200mm 1.1 ~ 3TGlass Rpm : 10 to 5000rpm (set in unit of 1 rpm) Accuracy : ± 3 rpm Acceleration : 10 to 50000rpm/s (set in units of 100rpm)스핀 디벨로퍼 활용분야 Spin Chuck 위에 Vacuum으로 Glass를 잡고 회전시키면서 현상액을 분사 감광액이 반응하연서 PR Patterning 공정을 수행 연구소의 실험실에서 포토리소그래피 공정 중 현상 공정을 수행
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200902/.thumb/20090202145219.jpg
장비위치주소	경상북도 포항시 남구 청암로 77 (지곡동) 포항공과대학교 나노기술집적센터
NFEC 등록번호	NFEC-2009-02-071156
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011716
첨부파일

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