나노임프린터
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 엔엔디 |
모델명 | NANOSIS 6300e |
장비사양 | |
취득일자 | 2008-09-17 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국화학연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C519 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 -목적 : Sub-micron 급 패터닝 공정을 나노 임프린팅 장비를 이용하여 미세금속 전극 및 OTFT array 등의 제작에 활용하고 나노 임프린팅 공정 개발 및 잉크젯 공정 결합 연구에 활용 -열 및 자외선 나노 임프린팅구성및성능 - 온도범위 : up to 200℃ - 자외선 파장대 : 200-500nm - UV 램프 수명 : average 3000hours - UV 초기 조도 4000mW/㎠ - 입력범위 : up to 25bar - 냉각속도 : optional - 기판 핸들링 사이즈 150 mm round diameter - 스탬프 사이즈 : 150 mm round diameter - 외관(W×L×H) : 1200 × 950 × 1705mm - 장비총중량(Booster 제외) : 400kg활용분야 - 나노 혹은 sub micro TFT 채널 형성 - 광 도파로 형성 - 광기능 표면 구조 형성 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200901/.thumb/20090114152346.jpg |
장비위치주소 | 대전 유성구 장동 100 한국화학연구원 11연구동 1층 108 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-01-139317 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011692 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |