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장비 및 시설 기본정보
원자층 증착장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)엔씨디 |
| 모델명 | Lucida D100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2017-04-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C509 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | 무기물을 증착하는데 있어, 기체 상태의 전구체를 이용하여 증착하는 장비로, 매우 얇으면서도 균일하고 조밀한 무기막을 얻을 수 있어 수분 및 산소 차단막에 유용하다. 특히 플렉서블 소자에 사용되는 무기막의 경우, 무기막이 두꺼워질 경우 휨 또는 접음에 의해 Crack이 발생하여 차단막의 역할을 하지 못하게 되어 웨어러블 소자에 사용할 수 없다. 따라서 원자층 증착장비를 이용하여 매우 얇으면서도 균일하고 조밀한 막을 증착하는 장비 이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201707/20170719153622484.jpg |
| 장비위치주소 | 응용공학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2017-07-238935 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712181081 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |