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5세대 스테이지

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보유기관명	쎄미시스코
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C311
표준분류명
시설장비 설명	X Y축을 이동시킬 수 있는 Split Type의 5세대 Glass를 진동없이 이동하여 광학계(카메라 렌즈 조명 등)를 이용하여 이상 유무를 검사할 수 있는 정밀 Stage입니다.5세대 Glass를 센터 기준 양방향으로 100mm 동안 등속으로 이동. 이동 시 상하 좌우 진동 직진도 반복 시 정밀도가 모두 20um이하 인 장비. Pay Load는 50Kg이하광학계를 이용한 이미지 획득 시 변속보다는 등속이 유리하므로 등속구간에 광학계를 설치하여 이미지 획득이 가능하며 전체 정밀도가 20um이하이므로 심도가 20um이상인 광학계는 설치.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201308/.thumb/2013080810131612.jpg
장비위치주소	경기 수원시 권선구 고색동 942번지 쎄미시스코 기업부설연구소 1층
NFEC 등록번호	NFEC-2013-08-181601
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039161
첨부파일

기업조회