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장비 및 시설 기본정보
스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Aja International |
| 모델명 | ATC ORION 5 UHV |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-04-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 1. 장비설명 (기능) - in-situ TEM을 이용한 나노소재 전기적 특성 평가를 위한 전극 증착 - in-situ TEM을 이용한 나노소재의 기계적 물성 측정을 위한 접합 계면 형성 - 전자와 물질 간의 상호작용 연구를 위한 목적 물질 증착 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201604/20160421151327347.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 신소재동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-04-209302 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0061045 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |