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장비 및 시설 기본정보
알파 스탭 아이큐
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-08-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 이 장비는 현재 patterning 되어있는 OLED의 전극형성에 요구되는 Maskless patterning의 표면적 높이를 측정하기에 가장 유용한 측정기기로써 2 차원 patterning 결과 뿐만 아니라 3차원적인 patterning결과의 효과를 구체적으로 입증하는데 있어서 중요한 장비라고 할 수 있습니다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201109/20110906151409.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047563 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00593 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |