웨이퍼 커터기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Kulicke&Soffa |
모델명 | 982-6 plus |
장비사양 | |
취득일자 | 2004-06-15 |
취득금액 |
보유기관명 | 순천향대학교 산학협력단 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 Spindle Maximum revolution : 40000Rpm X-axis Unit Travel : 292.1 mm Cutting Speed : 0.1~396.75 mm/sec Y-axis Unit Travel : 160 mm Indexing Step : 0.0002mm Indexing Accuracy : +- 2.5 micron Scale Resolution : 0.80 micron Z-axis Unit Maximum Cutting Stroke : 25.4mm for 2" blade Repeating Accuracy : +- 2.5 micron Maximum Blade Size : 52 mm θ-axis Unit Rotation Range : 0 to 170 degrees Vision Unit Magnification : X100구성및성능 유기EL 샘플 dicing활용분야 Ni blade를 이용하여 3T이하의 시편(Glass Si GaAs)을 X측 Y측으로 커팅할수 있다. |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200809/.thumb/20080903160308.jpg |
장비위치주소 | 충남 아산시 신창면 읍내리 순천향대학교 646번지 순천향대학교 산학협력관 4층 405호 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2008-09-066393 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0010346 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |