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장비 및 시설 기본정보
EDS (Energy Dispersive x-ray Spetrometer)부품류
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Bruker |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-11-15 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A208 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 - 원리: 전자현미경(SEM)에 부착시켜 사용하는 장치로써 전자총에서 나오는 X선분광을 이용하여 박막의 원소 및 성분을 분석할 수 있는 장치이다. - 특징 : 전자현미경 이미지 관찰시 패턴이나 박막에 대해 원소 및 성분을 측정할 수 있다. 원소에 대한 에너지분해능이 12 구성및성능 ㅇ 에너지분해능 : 4,000x4,000 ㅇ Count rate(input) : > 800,000 cps ㅇ 감지원소 영역 : C ~ U ㅇ Operating system : Window XP 활용분야 반도체 재료 및 성분 분석 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images// |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-11-021216 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0059422 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |