시설장비 설명 |
원리 장치에서 탐침 상호 작용력 검출을 위한 광학 기계부 3차원 나노 스캐너 디지털 전자제어 장치 소프트웨어로 구성되어있다. 일반적으로 탐침은 예리한 끝을 가진 나노 바늘이 느끼는 미세한 상호작용을 증촉하고 거시적인 세계로 전달하는 cantilever로 구성되어있다. 3차원 형상 측정 기능을 수행하는 장치로 탐침 끝의 원자와 시료 표면의 원자들 사이에 작용하는 척력과 반데르 발스 인력을 이용하며 작동에 사용되는 힘의 종류에 따라 접촉 모드와 비접촉 모드로 나누어진다. 시료 표면의 원자와 캔틸레버 끝에 달린 바늘 사이의 원자력은 캔틸레버를 아래 위로 휘게하고 캔틸레버의 각도 변위는 캔틸레버 윗면에서 반사되는 레이저 광선의 각도 편향시킨다. 따라서 레이저 빔의 편향 각도를 포토다이오드로 측정함으로써 표면의 굴곡을 알아내는 것이 기본원리이다 특징 본 장비는 탐침과 고체 표면의 원자간에 생기는 인력과 반발격의 힘을 측정 시료의 표면morphology를 측정하여 2차원 또는 3차원의image를 제작 |