배치형 증착 시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 참트론 |
모델명 | 모델명 없음 |
장비사양 | |
취득일자 | 2013-05-30 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국화학연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C503 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 기능 - Organic Device 제작을 위한 유기 박막 증착 시스템이다. 초고순도의 유기 박막을 형성하기 위하여 고진공 환경에서 증착이 되어야 하며 정밀한 두께 조절 및 두께 균일도를 형성할 수 있는 시스템이다. 또한 고진공에서의 연속적인 다층의 유기 박막 형성과 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/2013060513434850.bmp |
장비위치주소 | 한국화학연구원 5연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2013-06-179693 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0039398 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |