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장비 및 시설 기본정보
박막 패시베이션 시험/분석용 전처리 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-03-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 박막 패시베이션 특성평가를 위한 전처리 장비로서 Si3N4 SiO2 Al2O3 Zn(O H)S 등의 박막소재를 진공중에 증착할 수 있는 있도록 구성되어 있으며 기본 전처리 방법으로는 PECVD 및 ALD공정법을 활용한다 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201306/2013061816659807.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 솔라시티센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183284 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0040347 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |