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X선 광전자 분광기

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보유기관명	나노종합기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	B521
표준분류명
시설장비 설명	X-선 광전자 분광기는 시료의 표면으로부터 100 Å(10층 이내의 단원자 층)의 깊이에 관한 정보를 얻을 수 있는 표면 분석장비이다. 일정한 에너지를 가지는 X선(광자)을 시료에 쬐면 시료로부터 광전자(photoelectron)들이 방출되는데 이 광전자들의 운동 에너지를 측정하면 원자의 고유한 성질인 이 binding energy를 알수있으며, 이를 통해 원소의 정성 및 정량분석, 그리고 화학결합 상태 등을 분석하는 기법이다. 반도체 소재, 박막, 금속, 화합물, 유리, 촉매, 고분자 및 최근 활발히 연구되고 있는 나노 소재에 이르는 다양한 시료의 표면에 대한 정성, 정량 및 화학적 결합 상태 분석 등에 이용되며, 그 외에도 깊이 분석 및 표면 이미지 등에 관한 정보를 얻을 수 있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201610/2016100717315256.png
장비위치주소	카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원
NFEC 등록번호	NFEC-2016-10-212308
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062431
첨부파일

기업조회