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장비 및 시설 기본정보
초저온 이송 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | ALTO2500 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C305 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | SEM에서 생체나 수분을 함유한 다양한 시료를 보는 것은 아주 어려우며 이를 가능 하도록 지원하여 주는 장비가 CRYO Transfer system임. SEM과 동일한 방식의 Pre-Chamber를 SEM에 연결시켜 놓고 그 안에서 SEM으로 보기위한 샘플작업이 동시에 가능하도록 콤팩트한 디자인으로 제공함. 프리챔버에서 얼려진 샘플을 Airlock Transfer 장치로 pre-chamber에 장착을 시키면 자체에서 온도를 유지하도록 냉각 스테이지가 가동되며 원하는 부분을 보기위한 작업을 행함. Knife나 Pin을 통하여 Fracturing 작업을하고 Etching 및 Coating 작업을 완료하면 곧바로 SEM chamber에 Direct로 들어 갈수 있도록 되어 있어서 저온시편에 따른Contamination이 없고 쉽고 콤팩트하게 작업을 진행할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201212/20121223203758.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 친환경청정기술센터 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-02-175121 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00375 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |