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장비 및 시설 기본정보
성분분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Oxford Lasers |
| 모델명 | JSM-6510 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-06-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | (주)파트론 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A400 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | SEM 장비는 표면 관찰 히 가장 많이 쓰이는 장비로 금속 광물 반도체 등에서 사용되고 있다. SEM은 광원과 수렴렌즈 대물렌즈 와 시료의 표면에서 반사된 빛ㅇ르 사용하여 영상을 만드는 저체적인 구성은 광학 현미경과 유사하다. 차이점은 가시광선 대신에 가속 전자빔을 광？뼈막？ 하여 유리 렌즈 대신에 자기 렌즈를 사용하고 반사된 빛으로 영상을 형성하는 대신에 가속 전자와 고체 표면의 반응으로 발생되는 2차 전자를 전자 검출기로 검출하여 스크린에 영상화 한다. 또한 광원 시료 및 검출기 등이 진공 중에 있다. 빠른 특성화 및 훌륭한 구조의 이미징을 위한 전자 현미경 스캐닝으로 높은 성능을 구현한다. 0.5-30KV에서 3nm의 고해상도 x5~300000배율로 128mmX96mm 현미경영상 인쇄 가능 xyz 3축의 스테레오 이미지로 3차원 측정 등 상세한 측정 가능 x-선 분광계로 원소분석가능 광마우스 테스트 : 나노 표면확인 작업을 위해 필요한 장비로서 광마우스의 부품으로 사용되는 이미지웨이퍼 및 그 외 사용되는 부품들의 표면구조 및 구성원소를 확인하여 제품이 향후 생산시에 문제발생을 일으키는 원소분석을 비롯하여 표면 상태에 대한 확대분석을 통하여 불량을 미연에 방지하느 불량발생요인 및 이상현상 분석용으로 사용한다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110127090725.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 화성시 석우동 22-6번지 파트론 6층연구소 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-01-137688 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024728 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |