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장비 및 시설 기본정보
자동광학 검사장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 아주하이텍 |
| 모델명 | AVS-9300T |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-06-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 이엘케이(주) |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A313 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 차세대 터치 패널용 초박형 정전센서 개발을 위한 미세패턴 결함검출 - 표면검사 및 패턴검사 - 미세 조명 조정을 통한 연구효율성 극대화 - 패턴의 점 선 형태의 패턴 특성에 따른 자유로운 Spec 조정- 분해능 1.5㎛ - 최소선폭검출: 5㎛ - Tack time : 65sec - 카메라 사양: Line scan 2대(반사광) - 가로/세로/대각/ 밝기 값 독립설정 - Align 정렬 1mm이내 - 외관 검사 기능 : 이물 기포 찍힘 눌림 등 - 이물 : 10㎛ / 눌림 : 50㎛ /기포 및 찍힘 : 20㎛- 기능 : Ag Metal Metal mesh 검사(미세구조 분석) - Metal mesh 미세패턴 검사 - 5㎛ 이하 미세패턴 분석 - 대면적 미세패터닝 검사 - 외관검사 기능 포함 : 이물 기포 찍힘 눌림 등 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201310/.thumb/201310261141180.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 관평동 687번지 이엘케이(주) 이엘케이(주) 관평동 4층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-10-183632 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0040812 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |