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장비 및 시설 기본정보
질화막/산화막 증착기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 성진세미텍 |
| 모델명 | SJF-1000-T2 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-04-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C601 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 저압기상증착 방식을 이용하여 질화막과 산화막을 증착하는 장치 |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201903/2019031210443352.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2019-01-248898 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201901248697 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |