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장비 및 시설 기본정보
엑시머 레이저
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Lambda Physik |
| 모델명 | Compex205 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A410 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 반도체 나노선 개발 및 도핑 heterojunction 나노 구조를 만들기 위한 원료공급장치이다. 반도체 나노선은 다양한 방법으로 성장시킬 수 있는데 이때 여러가지 물질을 같이 공급할 경우 도핑이나 이종구조 등 새로운 나노구조를 만들 수 있다. 나노선 연구 특성상 다양한 재료를 시험해야 하는데 이때 레이저 ablation를 사용할 경우 짧은 시간내에 다양한 연구를 수행할 수 있다. 상기 장비는 레이저를 발생하여 원료를 나노선이 성장하는 곳에 공급하는데 사용될 레이저 발생장치이다. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131023104524349.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L1) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2003-12-044201 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050031 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |