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장비 및 시설 기본정보
가열 전계방사형 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Inspect F50 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-12-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 가열 전계 방사형 주사전자현미경은 전계 방사형 주사전자현미경 중에서도 전자총 부분을 가열하면서 지르코니아를 코팅하여 많은 전자빔을 이용한 관찰이 가능한 현미경입니다. 이번에 도입된 Inspect F50 장비의 경우 Deceleration mode 관찰에 특화되어 있는 VCD ICD detector를 장착하여 전자빔의 분해능을 유지하면서도 표면 정보를 많이 이끌어 내는 특징이 있습니다. 특징 전자발생원을 가열 후 전기장을 통해 전자를 발생시키는 Schottky 방식의 고분해능 주사전자현미경으로 고분해능 관찰과 분석에 유리 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110114180019.JPG |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L5) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-133474 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0018250 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |