| 시설장비 설명 |
특징 1) 경량의 콤팩트사이즈의 데스크톱 형태의 진공증착장치로서 공간적 배치에 유리한 조건을 갖추고 있다. 2) 조작성이 우수한 Turbo Molecular Pump (TMP) 배기시스템을 채용하여 증착에 필요한 진공상태에 도달하는 시간을 단축시켰다. (본제품: 평균 40분-1시간 다른제품: 평균 1시간30분-2시간) 3) one-push button에 의한 자동제어시스템에 의해 1회 조작으로 TMP 배기시스템의 on-off 상태를 제어할 수 있으므로 장비의 효율성 확보 및 장비의 활용시간을 단축할 수 있다. 4) 2 sources changeover type으로 1회의 진공상태에서 2종류의 서로 다른 금속 샘플을 하나의 기판 표면에 순서대로 증착할 수 있어 사용자의 시간과 비용을 절감시킨다. 5) option 사항인 quartz crystal thickness monitor를 추가함으로서 기판에 증착되는 금속의 두께를 실시간으로 모니터링 할 수 있으며 두께를 nm 사이즈로 제어 가능하다. 6) 증착되는 모든 금속의 임계온도 값에 대한 정보가 저장되어 있어 별도의 증착조건을 맞추기 위한 계산이나 이론 교육 없이도 쉽게 운용이 가능하다. |
