잔류가스측정기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Srs |
모델명 | RGA100 |
장비사양 | |
취득일자 | 2006-10-11 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국나노기술원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | E200 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 vacuum motor PLC 연삭정반 coolant Residual Gas Analysers (잔류가스 측정기)는 1X10-11 mbar의 분압까지 측정가능한 HALO100부터 dual Faraday/SCEM을 이용하여 1X10-14 mbar의 분압까지 측정가능한 HAL-201등 Hiden RGA시리즈는 quadrupole 이온화 소스 검출기 일체형으로 모든 적응분야에 적합하며 각각의 모든 시스템은 표준화가스와 이차 이온화 표준 치수에 맞게 교정된다. 반도체PVD 이온 주입 장치의 주기적 Leak 체크와 진공상태 검사 또는 MBE 공정상 챔버의 오염도 감시와 실제 Leak 식별등의 모든 적용분야에서 HIden RGA 시리즈는 이러한 요구를 충족시킬 것입니다."구성 quadrupole, 이온화 소스, 검출기 성능 mass range : 1 to 100 amu, detector type : faraday cup, sensitivity(A/Torr) : 2*10-4, partial pressure monitoring"""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""""" |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201108/.thumb/20110831154511.JPG |
장비위치주소 | 경기도 수원시 영통구 광교로 109 (이의동) 한국나노기술원 한국나노기술원 한국나노기술원 2층 팹동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-079080 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017624 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |