보유기관명 |
광주과학기술원 |
보유기관코드 |
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활용범위 |
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활용상태 |
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표준코드 |
A0 |
표준분류명 |
분석 |
시설장비 설명 |
고정밀도의 imaging에 요구되는 모듈기판의 패턴을 포토마스크 없이 데이터로부터 다이렉트로 곡면을 가공함으로써 면적에 대한 고성능화 고 정밀도화 되어가는 모듈기판의 고속 가공이 가능함으로써 포토 마스크 제작 프로세스가 불필요함. 또한 다양한 가공 형상을 제작하기 위해 CAD/CAM software를 사용하여 복잡하고 여러 형태의 가공 형상을 가공 할 수 있음. |
장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161024152453_20131113000000168725 NFEC-2013-11-183885.jpg |
장비위치주소 |
광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동 |
NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-11-183885 |
예약방법 |
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카타로그 URL |
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메뉴얼 URL |
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원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0040396 |
첨부파일 |
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