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248mm 엑시머레이져

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보유기관명	창원대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C530
표준분류명
시설장비 설명	1. 248nm 엑시머 레이저 시스템 - 최대 펄스 에너지 : 360mJ @248nm - 최대 반복률 : 60Hz - 최대 평균 파워 : 20W - 빔 크기 : 6-8×22mm - 빔 개도 : 2x4mrad - 레이저 파워 공급기(208VSingle phase60Hz1.5KVA max) 원격 제어 장치 할로겐 필처 진공 펌프. 2. 248nm 엑시머 레이저 시스템을 위한 가스 (Domestic supply) - 혼합 가스비율율 ; F2(Fluorine) : 0.14% Kr(Krypton) : 2.38% Ne(Neon) : 47.38% He(Helium) : 50.1% 47L 가스 &가스 실린더r(충전압력 100kg) -가스밸브 어뎁터 -클리닝을 위한 고순도 헬륨네온가스 퍼지(순도 99.999%) - 47L 가스 가스 실린더(충전압력 100kg) - 밸브 어뎁터
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110126105419.jpg
장비위치주소	경남 창원시 의창구 사림동 창원대학교 9번지 창원대학교 54호관 3층 54311
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-137383
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024252
첨부파일

기업조회