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장비 및 시설 기본정보
4탐침 면저항측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Napson Corporation |
| 모델명 | CRESBOX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-02-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 녹색에너지연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D102 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - All-in-one instrument of resistivity tester and measuring stage (Small foot print) - Without PC operation (stand-alone use) or PC operate system type available - Shutter mechanism guard measurement from outside influenceMEASURING SPECIFICATIONS V/I Ratio : 1mΩ/sq ~ 3MΩ Sheet : 5mΩ/sq ~ 10MΩ/sq Resistivity 100 ~ 999.9um : 1mΩ·cm ~ 300kΩ·cm WAFER SIZES 2inch ~ 8inch and Max. 156mm·sq DIMENSIONS 330(W) x 600(D) x 300(H)mm 30Kg UTILITIES Power supply : 100 ~ 200V±10% 50/60Hz 300VA Vacuum : -40kPa ( 300mmHg ) - Rs:5.0mΩ/sq~10.0MΩ/sq - Res:1.0mΩcm ~300kΩcm ( t=100~2000μm ) - Applications : Silicon wafer conductive layer on glass/film and more - Sample size : 2"~8"Ф max.156mmSQSilicon wafer and various types of semiconductor process layer or film (eptaxial diffused ion-implanted poly silicon) ITO metal layers conductive ceramics and more |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201202/.thumb/20120220205225.jpg |
| 장비위치주소 | 전남 목포시 석현동 1175-4번지 (재)서남권청정에너지기술연구원 (재)서남권청정에너지기술연구원 본관동 1층 특성평가실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-02-154536 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031089 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |