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AFM (SPM-PSIA용)

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보유기관명	나노종합기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A208
표준분류명
시설장비 설명	탐침(probe)과 시료 표면의 다양한 상호작용력을 이용하여 물질 표면의 형상 및 전기적 물리적 특성 등을 원자단위로 측정할 수 있는 장치로서 진공 및 대기 뿐만 아니라 용액 중에서도 측정이 가능하다. * 스캐너 - XY 스캐너 구동 범위 : 50 x 50 um (LV mode : 5 x 5 um)- XY 스캐너 분해능 : < 0.15 nm (LV mode : < 0.02 nm) - Z 스캐너 구동 범위 : ~ 8 um (LV mode : ~ 0.8 um) - Z 스캐너 분해능 : 0.05 nm (LV mode : 0.01 nm) * 스테이지- 이동 범위 : 100 x 100 mm - 조각 시편 측정 가능 - 나노미터 스케일의 표면 구조 및 거칠기 분석 (AFM) - 혼합 고분자막의 조성 관찰 (LFM Phase image) - 자성 박막의 자기구조 관찰 (MFM) - 표면의 전위차 및 전하 분포 (EFM) - 반도체의 도펀트 프로파일 및 농도 분포 (SCM) - 나노 패터닝 (SPM-Nanolithography)
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201309/.thumb/2013091713464143.jpg
장비위치주소	대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 6층 표면분석실
NFEC 등록번호	NFEC-2007-11-047855
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007480
첨부파일

기업조회