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장비 및 시설 기본정보
전계방출 주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Fei |
| 모델명 | Sirion |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 나노종합기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 재료의 표면 및 단면 형상 관찰 : SE image BSE image SE+BSE image - Deceleration function : 낮은 가속전압에서 높은 분해 가능 기존의 높은 가속전압을 지니는 SEM에서 관찰하기 힘든 바이오 시편 등에 유리 * 특징 - 에미터 : Schottky 집속된 전자빔을 시료 표면에 주사하면서 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해서 발생된 이차전자 혹은 후방산란전자를 이용하여 시료의 표면구조 및 에너지분산분광기를 이용한 원소분석이 동시에 가능한 장비임. - SE and BSE 검출기(In-lens type) - 분해능 ; 1.5nm at 10kV - EDX take-off 35도 at zero tilt(EDAX) - 전자총 : 상온 전자방출형 - 가속전압 : 500 eV ~ 30 keV - 분해능 : 1.0 nm @ 15 keV - 스테이지 : 3-axis motorized (XYR) - 이동 범위 : XY:0 ~ 50 mm Z:1.5 ~ 30 mm - 회전 범위 : 360° - 기울기 범위 : -5° ~ 70° - Deceleration mode - 표면과 단면의 Topographic - 패턴 시료의 CD 측정 - BSE 검출기를 이용한 Z-contrast imaging - EDS 원소 분석 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201405/.thumb/20140514103053733.jpg |
| 장비위치주소 | 대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 지하1층 구조분석실 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-11-047850 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007479 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |