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장비 및 시설 기본정보
전자빔 증발 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Ulvac |
| 모델명 | ei-5k |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-01-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 배기 Pump를 이용하여 Chamber를 진공상태로 만들어 Chamber 내부 도가니에 설치 된 물질 (금속 or 산화물)을 E-beam으로 조사하여 기화 된 물질이 상부에 설치 되어 있는Dome에 장착 되어 있는 기판에 증착 되는 원리.배기 Pump를 이용하여 Chamber를 진공상태로 만들어 Chamber 내부 도가니에 설치 된 물질 (금속 or 산화물)을 E-beam으로 조사하여 기화 된 물질이 상부에 설치 되어 있는Dome에 장착 되어 있는 기판에 증착 되는 원리. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201601/2016012010227946.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-01-207305 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0060671 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |