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전계방사형 주사전자현미경

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보유기관명	(재)철원플라즈마산업기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	전자총에 전압과 전류를 접속하여 형성된 전자빔을 이용하여 금속 무기물질 고분자의 표면과 단면구조를 분석하는 장비로써 표면구조의 3차원적 image를 제공한다. TEM에 비해 간단한 전 처리를 통해 재료 식물 의학 반도체 등 거의 대부분 시료를 분석 할 수 있다.FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope) -분해능 : 1.0nm(at 15kV) 1.4nm(at 1kV) -배율 : x20~x800000 -전자총 : Cold cathode field emission -가속전압 : 0.5 to 30kV -Specimen stage : X Y 0~50mm Z 1.5~30mm T -5˚~+70 ˚ R 360˚ EDS -분해능 : 129eV at 20mm(MnKa) -검출범위 : B(5) to U(92)-전자총에 전압과 전류를 접속하여 형성된 전자빔을 이용하여 금속 무기물질 고분자의 표면과 단면구조를 분석 -Metal-graphene 합성 분말 및 나노사이즈 분말 형상 측정
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110127142807.jpg
장비위치주소	강원 철원군 갈말읍 호국로 4620 . (재)철원플라즈마산업기술연구원 연구원본관 1층 분석실
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-138293
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024918
첨부파일

기업조회