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열전계방사형주사전자현미경

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보유기관명	성균관대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	고해상도를 요구하는 박막재료 반도체재료의 국부 영역의 상관찰 In-Lens Thermal FEG Ultrahigh resolution comparable to the cold cathode FE-SEM 에너지 절약 ECO design Gentle Beam mode SEI resolution 1.5 nm (1 kV) in GB mode 1.0 nm (15 kV) Magnification 25 to 1000000x (printed as a 120mm x 90mm micrograph) Accelerating voltage 0.1 to 30 kV Beam current 1 pA to 200 nA at 15 kV Aperture angle control lens Integrated Detector Upper and lower detectors Energy Filter New r-filter Gentle beam Integrated Digital images 1280 x 960 2560 x 1920 5120 x 3840 Specimen exchange chamber Single step loading/unloading Specimen stage Eucentric 5 axis motor drive
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110126093442.JPG
장비위치주소	경기 수원시 장안구 천천동 성균관대학교자연과학캠퍼스 300번지 성균관대학교 자연과학캠퍼스 제1종합연구동 지하1층 81B101
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-137399
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0024233
첨부파일

기업조회