타원 분광계
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | J.a.woollam |
모델명 | V-VASE |
장비사양 | |
취득일자 | 2009-07-01 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국에너지기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A408 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 - 빛의 편광특성을 이용하여 시료의 두께 및 광학상수를 비파괴 방식으로 측정하는 시스템 - 기판의 손산 및 최소한의 breakage rate를 보장함. - 미세하고 일정한 레이저 grooving이 가능함. - CCD 카메라를 이용한auto align이 가능하고 inline 방식이 가능함. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/20150310123620976.jpg |
장비위치주소 | 한국에너지기술연구원 고층고실험동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2010-01-078015 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050645 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |