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크로스빔펄스레이저증착시스템

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보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C504
표준분류명	생산
시설장비 설명	펄스형 레이저 진공증착기(Cross beam pulsed laser deposition system) PLD system은 파장이 짧은 엑시머 레이저를 원하는 세라믹 물질 표면에 입사시켜 극히 짧은 시간에 5000K 이상으로 표면온도를 올리는 순간적인 광화학적 용발에 의해 박막을 제작하는 장치로서 타겟의 조성이 복잡한 세라믹이라도 성분변화없이 고품질의 박막을 얻을 수 있다. 이러한 이유로 PLD system은 재료전자물리화학 분야에서 세라믹 소재의 박막화 개발 연구에 직접적으로 활용될 수 있으며 세라믹금속반도체 등의 단일체 또는 복합구조물을 원자층 단위로 성장시키는 과정을 통해 인공격자 신물질 합성 다기능성 복합소자 개발등에 매우 유용한 장치로 활용된다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161026112649_20110404000000109635 NFEC-2011-04-145321.jpg
장비위치주소	112동(제5공학관)
NFEC 등록번호	NFEC-2011-04-145321
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0029104
첨부파일

기업조회