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장비 및 시설 기본정보
초심도 3D 형상측정기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Keyence |
| 모델명 | VK-9500 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-11-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충남테크노파크 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 2860×1800×1520 - 화면 전체에서 초점이 맞는 깊은 심도의 화상(초심도 화상)과 대상물의 미세한 형상데이터를 감지하는 기술로서 레이저 공초점 광학계를 탑재하고 있어야함. - 컬러 레이저현미경은 관찰은 통상 사용 중인 광학현미경의 개념으로 유연하게 대응되며 표면 조도계와 SEM의 기능에 필적하는 초심도 고정도 표면해석이 가능해야 함. - 핀 홀 방식의 공초점 광학계 최고의 리얼 컬러 시스템(컬러 초심도) 고속 측정 - 국가 표준의 트레이서빌리티체계에 기초를 둔 고정밀 계측. - 간편한 3D 분석 기능. 마우스에 의한 다이렉트 조작 가능. - 고정도 고해상도 및 광범위 해석을 실현하는 화상 연결 기능. - 초소형 내진동 구조 - 사용자의 요구에 부합하는 다양한 확장성(측정부 분리 사용 가능). 본 장비는 대형 스테이지를 병용할 수 있어야하며 LCD/PDP기판과 같은 대형 샘플을 비파괴로 관찰 분석 할 수 있음구성및성능 1. 측정부(본체) 1) 모니터 배율 : 18000x ~ 200x 2) 대물렌즈 : (10x 20x 50x 150x) ＊ 10x / NA=0.3 WD=16.5mm ＊ CF Plan 20x / NA=0.46 WD=3.1mm ＊ CF Plan Apo 50x / NA=0.95 WD=0.35mm ＊ CF Plan Apo 150x / NA=0.95 WD=0.2mm 3) 관찰 영역 : 1350 × 1012㎛ ~ 15 × 11㎛ 4) 관찰 및 측정을 위한 광학시스템 : 핀홀 방식의 공초점 광학계 5) Z축 구동 : ＊스텝핑 모터에 의한 구동 ＊최소 스텝 및 분해능 : 0.01㎛ 이내 ＊표시 분해능 : 0.01㎛ ＊측정 범위 : 7mm 이내 ＊반복정도(δ) : 0.02㎛ 이내 (150배 대물렌즈로 단차블록 2㎛을 기준으로 측정 시) 6) 폭(XY)측정 : ＊표시 분해능 : 0.01㎛ 이내 ＊반복정도(3δ) : 0.02㎛이내 (150배 대물렌즈로 기준챠트의 1㎛ 라인을 라인피크모드로 측정 시 대형스테이지 미부착 기본형 측정 시) 7) 표시 분해능 : 1024 × 768 평면 분해능 : 0.14㎛ (L&S챠트로 측정 시) 8) 프레임 메모리 : ＊영상用(흑백) : 1024 × 768 × 14bit ＊영상用(컬러) : 1024 × 768 × 8bit × 3 ＊높이 측정용 : 1024 × 768 × 20bit 9) 프레임 레이트(Hz) : ＊컬러 : 7.5 ~ 15Hz ＊흑백 : 9 ~ 42Hz ＊라인피크/라인막 두께 : 664Hz 10) 스캔 방식 : ＊수평 - 레조넌트 스캐너 수직 - 갈바노 스캐너 또는 동등사양 11) 광학줌 : 1 to 6×(0.1× 스텝) 12) 자동기능 : 오토 포커스 오토 게인 오토 셔터 13) 측정용 레이저 광원 : ＊파장 : 바이올렛 레이저 408nm ＊최대출력 : 0.9mW ＊레이저 등급 : JIS Class2 14) 수광소자 : PMT(광전자 증배관) 15) 광학 관찰용 광원 : ＊램프 : 100w 할로겐 ＊수명 : 1000시간(평균) 이상 ＊색온도 : 3100K 16) 광학 관찰용 컬러 카메라 : ＊촬상소자 : 1/3 인치 CCD 이미지 센서 ＊조정 : 게인/셔터스피드 ＊화이트 밸런스 : AUTO/MANUAL/PUSHSET 17) 데이터 처리 : PC (OS : WindowsXP)활용분야 프리즘 형상 계측 및 이물검사 등 비접촉 고정도 표면 형상 해석이 가능 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201102/.thumb/20110219170454.jpg |
| 장비위치주소 | 충남 아산시 음봉면 동암리 33-1 디스플레이센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-10-001202 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0015495 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |