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장비 및 시설 기본정보
폴리머경화기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 마이다스(주) |
| 모델명 | MDA-60MS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-08-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 1. Semi auto alignment and Exposure system 2. Manual Load and Unload 3. Auto Leveling 4. Operation mode Semi Auto Alignment Mode Manual Alignment Mode 5. PC & PLC Controller 6. Sample Size : 조각4""wafer 7. Wafer Stage : XYZ and 4 Axis Z Axis motori |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200909/20090911101640.JPG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 PP1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-09-150424 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202004092632 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |