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장비 및 시설 기본정보
접합용 표면 코팅기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 미래하이텍 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-09-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C209 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 - 증착하고자 하는 금속에 플라즈마를 형성하여 반응가스의 충돌로 인해 떨어져 나온 금속 입자들을 웨이퍼에 증착하는 원리이며 다중코팅이 가능하고 웨이퍼 자체에 극성을 인가하여 보다 높은 효율을 나타낼수 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200910/20091016110223.jpg |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 PP1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-149942 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202004092631 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |