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장비 및 시설 기본정보
수직전기로
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 성진세미텍 |
| 모델명 | SJVF-2100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-06-07 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C523 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | null- 장비 규격 : 600×600 1300℃ N2 H2 - 적용가능 wafer carrier : Graphite+SiC 재질의 susceptor - 장비 구성 Main body(chamber) Control panel system Gas : N2 H2 Pump system : Ebara pump활용분야 수직전기로로 광부품의 신뢰성검사등에 활용 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125145133.jpg |
| 장비위치주소 | 광주 북구 월출동 974-17 피니사코리아 클린룸 1층 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-116774 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017906 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |