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장비 및 시설 기본정보
의료용 대면적 developer 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 젠시스 |
| 모델명 | GSSpin300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-12-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전기연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 UV(자외선) 사진 식각공정(마스크 얼라이너 및 노광시스템) 후 실리콘 Wafer 또는 유리기판 상에 UV로 조사된 부분을 스핀방식으로 현상액을 도포(Spin coater)하여 Pattern을 현상 후 초순수 용액 및 N2를 이용하여 시료를 세정 및 건조하는데 적용 -방사선 영상센서 바이오 MEMS 센서 테라헤르츠 발생 및 검출기 개발 의료용 소재 개발 등 첨단의료기기센터 추구하는 핵심요소기술을 포함함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201203/20120328112401.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전기연구원 안산분원 제2연구동 2109호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-158914 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0032033 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |