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핫셀용 스퍼터 코터

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보유기관명	한국원자력연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C209
표준분류명
시설장비 설명	본 장비 전자현미경 시료 제작을 위한 코팅 장비이다. 고진공 상태에서 알곤 가스를 흘려주고 챔버 내에 전압차를 걸어주면 알곤 이온이 타켓물질을 때려서 타겟에 있는 물질이 시료 표면으로 떨어져 쌓인다. 주로 Pt 코팅에 사용된다. 고방사능 물질에 코팅을 수행하기 위해 제어시스템과 코팅 챔버를 분리하고 신호 및 전원케이블을 약 5 m 정도 연장하였으며 코팅박막 두께 측정 장치가 챔버 내에 설치되어 있다. 타겟물질에 따라 적정 Voltage 및 진공도를 확인해야 하며 코팅전에 챔버 내부를 알곤으로 환기해야 한다. 본 장비의 챔버는 차폐형 글로브박스 내부 격납영역에 설치되어 있으며 시료의 취급은 글로브박스의 원격조종기를 이용하여 수행한다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110128175414.jpg
장비위치주소	한국원자력연구원 본관동
NFEC 등록번호	NFEC-2007-12-051660
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0008023
첨부파일

기업조회