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장비 및 시설 기본정보
상압 화학기상증착 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 삼한박막진공 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C507 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 상압 또는 준상압에서 고온의 열원으로 원료가스를 분해하여 에피탁샬 실리콘 박막을 성막하는 장비로 두께 1마이크로 이상의 초박형 단결정 실리콘 박막 성장이 필요한 고성능 에피 트랜지스터 또는 kerfless 실리콘 태양전지 개발에 활용되고 있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201610/20161026113911138.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L0) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-10-212546 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062483 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |