글로우방전질량분석기
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Msi |
모델명 | ULTIMA GD RFA |
장비사양 | |
취득일자 | 2016-10-31 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | B600 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 1. 고체상태의 시료에 존재하는 미량의 무기원소들을 특별한 전처리 없이 직접 주입/분석하여 정량 분석이 가능하므로, 희토류 원소들과 같이 고융점을 갖고 있고 산이나 알칼리에 의해서 녹이기 힘든 시료의 분석 활용 2. 1회에 70여개의 원소를 %에서 ppt에 이르는 광범위한 영역의 정량 분석 가능 3. 일반적인 금속 도체 시료 이외에 산화물 부도체/반도체 시료 분석을 위한 RF 모듈 장착 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161101165538174.png |
장비위치주소 | 한국생산기술연구원 갯벌타워 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-212715 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062586 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |