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장비 및 시설 기본정보
플라즈마처리기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 펨토사이언스(Femto Science) |
| 모델명 | COGRADE-1MP |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2018-08-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C208 |
| 표준분류명 | 시험 |
| 시설장비 설명 | ▷ 플라즈마 표면전처리장비는 RF 방식으로 가스를 여기시켜 플라즈마를 발생시키는 장비임 ▷ 플라즈마 표면전처리장비는 진공 챔버 내에 웨이퍼, 칩, 기판 등 표면전처리 대상물을 넣고 표면의 각종 오염물과 산화물을 제거하고 표면을 활성화시켜 결합을 증대시키는 역할을 함 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/202003/20200303135935668.PNG |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 PP1동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2020-03-261229 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-202004092612 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |