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장비 및 시설 기본정보
원자층 증착 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)엔씨디 |
| 모델명 | Lucida D100 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-12-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C509 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 준비된 시료 위에 원하는 물질을 원하는 두께만큼 매우 균일하게 증착하는 장비임. 이 장비는 물리적 흡착과 화학적 흡착의 결합력 차이를 이용해 원자층 단위로 두께를 조절할 수 있음. 현재 알루미늄/아연/지르코늄 산화층을 증착할 수 있음. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201504/20150423211728619.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-04-201809 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0055897 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |