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장비 및 시설 기본정보
고배율 반사현미경 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Olympus |
| 모델명 | MX51 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-06-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 오송첨단의료산업진흥재단 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A204 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 고배율의 영상과 동영상 촬영을 통해 웨이퍼 위에 형성된 마이크로 구조물을 확인하거나 미세 파티클 세포 미세조직 등의 샘플을 측정 분석하는데 사용하는 현미경입니다. 특히 수 마이크로 이내의 미세 구조물을 형성하는 공정 중에 일반 광학 현미경으로는 육안으로 확인이 어려운 금속 패턴의 형성 정밀도 등을 측정하는데 사용됩니다.1. 현미경 본체-1 (MX51-F) A. 접안 10배(WHN10X) : Widefield B. 대물 렌즈 : 10배(0.3 mm NA 6.5 mm WD) 20배(0.45 mm NA 3.0 mm WD) 50배(0.8 mm NA 1.0 mm WD) 100배(0.9 mm NA 1. 0mm WD) C. 3~6인치 웨이퍼 거치 가능 (스테이지 및 웨이퍼 홀더 포함) D. Bright field(BF)/ Dark field(DF) 관찰 가능(Illumination Tube 포함) E. 반사광원 : 12V 100W F. 리볼버 : 5구 장착가능 G. Image Acquisition Camera(eXcope T1000) : 14 Mega Pixels CMOS 4096 X 3288 2048 X 1644 1024 X 822 1.4 um X 1.4 um(Pixel size) 35.5 dB SNRatio 65.3 Dynamic Range H. 측정 및 분석용 S/W(eXcope X3) : 이미지 타일링 멀티포커싱 타임랙 기능 실시간 엑셀 데이터 전송기능 등 2. 현미경 본체-2(MX51-F) A. 접안 10배(WHN10X) : Widefield B. 대물 렌즈 : 5배(0.1 mm NA 20 mm WD) 10배(0.25 mm NA 6.5 mm WD) 50배(0.35 mm NA 18 mm WD) 100배(0.60 mm NA 7.5 mm WD) C. 3~6인치 웨이퍼 거치 가능 (스테이지 및 웨이퍼 홀더 포함) D. Bright field(BF)/ Dark field(DF) 관찰 가능(Illumination Tube 포함) E. 반사광원 : 12V 100W F. 리볼버 : 오토 리볼버(외부 키패드 조정) 5구 장착가능 G. Image Acquisition Camera(IMTcamCCD5) : 5 Mega Pixels CCD H. 측정 및 분석용 S/W(I-Solutions) : 이미지 타일링 멀티포커싱 타임랩 기능 실시간 엑셀데이터 전송기능 그레인 사이즈 측정 기능 등 3. 영상정보 분석장치(PC 한성컴퓨터 Bossmonster MX4777 2대) A. I7-4790(3.6Ghz) 8GB 2TB 내장 HDD 128GB(SSD 추가) B. LG 24MP56HQ 모니터(24인치) 2개 4. 영상정보 획득용 이동형 저장장치(Portable PC) A. MD761KH/B : I504260U 4GB Mac OS X & Win 8(멀티부팅) 256G(SSD) B. ME293KH/A : I7-4750HQ 8G Mac OS X & Win 8(멀티부팅) 256G(SSD) C. 1T 외장하드 2개 5. 액세서리 : C-mount 포함이식형 의료기기 중 두개골 하부 뇌 표면에서 간질발작 등에 대한 진단용도로 사용되는 ECoG용 표면전극의 경우 다채널의 박막형태인데 이런 형태의 전극의 제작 공정 중 생체적합성 폴리머나 플라스틱 소재 표면에 금이나 은으로 금속 라인을 형성시킬 때 일반 광학 현미경으로는 확인이 어려운 금속 패턴의 형성 정밀도 등을 측정하는데 사용합니다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201407/.thumb/20140715135915830.jpg |
| 장비위치주소 | 충청북도 청주시 흥덕구 오송읍 오송생명로 123 오송첨단의료산업진흥재단 첨단의료기기개발지원센터 3층 320 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-07-190128 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0043410 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |