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장비 및 시설 기본정보
초고진공 펌프 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Varian |
| 모델명 | Turbo-V 81-M |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-06-16 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C610 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | ㅇ 원리 및 특징 - 챔버의 고진공 분위기 유지 - 진공 설비에 사용되는 진공펌프로써 대기압 이하의 압력에서 기체를 흡입하여 대기압에서 배출하는 데 사용되는 압축기인데 흡입하는 기체의 압력은 대기압에서 절대진공에 가까운 정도까지 이른다. 형식에 따라서 왕복식·회전식·봉수식(封水式)·확산식·이젝터식 등이 있다. 왕복식에는 단동진공(單動眞空)펌프·자유밸브식 복동진공펌프·미끄럼밸브식 복동진공펌프가 있고 회전식에는 다익편회전식진공(多翼片回轉式眞空) 펌프가 있다. 본질적인 작동은 보통의 압축기와 같다. 그러나 상당히 높은 진공을 만들어내는 확산펌프만은 압축기와는 다르다. 즉 반경방향으로 자유로이 움직일 수 있는 날개를 지닌 회전자(回轉子)를 케이싱 내에 편심적(偏心的)으로 장착하여 이것을 고속회전시키는 회전식구조에서는 진공도 95% 실린더 내를 피스톤이 왕복하는 왕복식에서는 96∼99% 또는 그 이상의 진공으로 할 수가 있다. 전자는 속도형 후자는 용적형이라고 한다. 속도형에서는 진공도는 높이기 어려우므로 진공도가 높은 유량(流量)이 적은 것은 용적형이 사용된다. 고진공을 만드는 확산펌프는 처음 보조펌프로 어느 정도 진공으로 하고 나서 기름 또는 수은을 가열·증발시켜서 작은 구멍에서 분출시켜 이것에 의해서 기체분자를 밖으로 내는 것이며 기름을 사용했을 경우 10-16mmHg 이하의 고진공으로 할 수가 있다.ㅇ 구성 및 성능 - Inlet Flange : ISO250 - Outlet Port : NW40 - Pumping Speed : 2000L/sec - Oil-free magnetic bearing - power Supply : 200~240V - controller with Cable" - 10-6torrㅇ 사용예 및 활용분야 진공 분위기 유지 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201111/.thumb/20111118103904.jpg |
| 장비위치주소 | 경기도 안산시 상록구 사1동 1271-18 B동 1F |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-01-069341 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0011646 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |